Neues Graduiertenkolleg der TU Ilmenau entwickelt Verfahren zur Produktion im Nanometerbereich

Da die zunehmende Verkleinerung von Bauelementen auf Größen bis zu unter 10 Nanometern die Produktion vor immer größere Schwierigkeiten stellt, wird das Graduiertenkolleg NanoFab innovative Fertigungsverfahren im Nanometerbereich für großflächige zwei- und dreidimensionale Strukturen entwickeln. Solche Arbeiten erfolgen an Nanopositionier- und Nanomessmaschinen größter Präzision.

Unter Einsatz von spitzen- und laserbasierten Techniken werden die Wissenschaftler um den Sprecher des Graduiertenkollegs, Professor Eberhard Manske, alternative Lithographieverfahren erarbeiten, mit denen zum Beispiel Präzisionsoptiken mit neuen, bislang nicht möglichen optischen Eigenschaften gefertigt werden können.

Ebenso soll die Herstellung ultrakleiner Bauelemente für elektronische Geräte bis in den Nanometerbereich erforscht werden. Dadurch finden auf einem Mikrochip immer mehr Transistoren Platz, die unter anderem Smartphones, Tablets und PCs hohe Rechenleistungen ermöglichen.

Professor Manske, Leiter des Fachgebiets Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik an der TU Ilmenau, ist sich sicher, die Vorgabe der Deutschen Forschungsgemeinschaft, 13 Doktoranden die Chance zu bieten, in einem strukturierten Forschungs- und Qualifizierungsprogramm auf hohem fachlichem Niveau zu promovieren, erfüllen zu können:

„Mit unserem seit vielen Jahre erfolgreich entwickelten Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen an der TU Ilmenau bestehen dazu die besten Voraussetzungen. Es verfügt über eine weltweit einzigartige wissenschaftlich-technische Ausstattung: fünf Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, mit denen wir nun auch die Forschung auf dem Gebiet der Nanofabrikation vorantreiben werden.“

Der Rektor der TU Ilmenau, Prof. Peter Scharff, freut sich über die Einrichtung des neuen Graduiertenkollegs sehr: „Das ist ein großer Erfolg für die Forschungsarbeiten auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen und untermauert die weltweite Spitzenposition der TU Ilmenau in diesem Bereich.“

Kontakt:
Prof. Eberhard Manske
Sprecher Graduiertenkolleg NanoFab
Tel.: 03677 69-1250
E-Mail: eberhard.manske@tu-ilmenau.de