Noch kleinere Chip-Strukturen sind das große Ziel

Europäische Union fördert NANOCMOS-Projekt mit 24 Millionen Euro – Das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz ist im Projekt ein wichtiger Partner der europäischen Halbleiterindustrie

Das Zentrum für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz ist Partner des EU-Verbundforschungsprojektes NANOCMOS. Die Europäische Union fördert ab 1. März 2004 die erste Phase des Forschungsvorhabens, an dem zwölf Partner aus fünf Ländern beteiligt sind, mit 24 Millionen Euro über einen Zeitraum von 27 Monaten. Davon fließt eine halbe Million Euro an die TU Chemnitz. Das Chemnitzer Zentrum für Mikrotechnologien, das von Prof. Dr. Thomas Geßner geleitet wird, ist der einzige universitäre Partner dieses Großprojektes innerhalb des 6. Forschungsrahmenprogramms der EU. Zu den Projektpartnern gehören unter anderem die größten europäischen Halbleiterhersteller ST Microelectronics, Philips und Infineon Technologies, leistungsfähige Forschungsinstitute wie das IMEC in Belgien, das CEA-LETI und das CNRS in Frankreich sowie die Fraunhofer Institute IIS Erlangen und IZM Berlin und das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz. Beteiligt sind auch innovative klein- und mittelständische Unternehmen.

Die Wissenschaftler wollen in den kommenden Monaten die Strukturen in der Mikroelektronik weiter verkleinern und damit die Leistungsfähigkeit der integrierten Schaltkreise erhöhen. „Die kleinsten Strukturgrößen der Chips sollen von bisher 90 Nanometer auf 45 Nanometer reduziert werden. Und in der zweiten Projektphase werden sogar 32 Nanometer angestrebt. Damit ließen sich auf einem Quadratzentimeter Chipfläche im Vergleich zum heutigen Stand der Technik achtmal mehr, also etwa 600 Millionen Transistoren unterbringen“, berichtet Prof. Dr. Thomas Geßner.

Diese Transistoren sind die Grundbausteine für jeden Speicherchip oder Prozessorschaltkreis, der Informationen speichern oder verarbeiten kann. Mit Hilfe der angestrebten technischen Neuerungen soll sich beispielsweise die Speicher- und Rechenleistung von Computern erhöhen. „Viele Produkte des täglichen Lebens können so eine völlig neue Funktionalität erhalten“, blickt Prof. Geßner optimistisch in die Zukunft. „Zum Beispiel sind deutlich größere Speichermedien für die digitale Fotografie und Videotechnik bei sinkenden Preisen je Speichereinheit zu erwarten. Da die Chips gleichzeitig auch schneller und bei höheren Frequenzen arbeiten, können so Programme auf PCs auf größere Rechenleistungen zurückgreifen. Auch bei der mobilen Kommunikation kann mit höheren Übertragungsraten gearbeitet werden.“ Doch bis es soweit ist, müssen die Forscher aus allen beteiligten Ländern Europas erst das ehrgeizige Ziel der weiteren Miniaturisierung der Chip-Strukturen erreichen.

Das Chemnitzer Zentrum für Mikrotechnologien arbeitet in drei der insgesamt neun NANOCMOS-Teilprojekte mit und forscht auf den Gebieten der Computer-Simulation von Schichtabscheideprozessen und der Entwicklung neuer Isolatormaterialien (so genannte „low-k-Dielektrika“) und Isolationskonzepte (so genannte „air gap-Strukturen“), welche eine Erhöhung der Datenübertragung in den Verdrahtungssystemen der Chips ermöglichen sollen.

Weitere Informationen erteilt Dr. Stefan Schulz, Telefon (0371) 5 31 – 36 51, oder E-Mail Stefan.Schulz@zfm.tu-chemnitz.de