Nanotech 300: Französisches Zentrum für Atomenergie CEA unterzeichnet einen Vertrag mit den Mitgliedern der Allianz "Crolles 2"

Das französische Zentrum für Atomenergie (CEA) hat am 21. April 2004 einen vierjährigen (2004-2007) Forschungs- und Entwicklungsvertrag mit den Mitgliedern der Allianz „Crolles 2“ unterzeichnet. In dieser Allianz haben sich drei Unternehmen, STMicroelectronics, Philipps und eine Tochtergesellschaft von Motorolla, Freescale Semiconductor, zusammengeschlossen. Diese Vereinbarung konzentriert sich auf die Entwicklung der CMOS Nanotechnologie (Complementary Metal Oxide Silicon) und auf die Entdeckung neuer elektronischer Nanokomponenten.

Die neuen studierten Technologien werden die Herstellung von Komponenten festlegen, die zuerst 45 nm und dann 32 nm messen. Sie werden auf Siliziumplatten mit einem Durchmesser von 300 mm entwickelt. Diese neue Größe der Siliziumplatten ist ein neuer Standard, der einer technischen und wirtschaftlichen Notwendigkeit für die Mikroelektronikindustrie entspricht. Da die produzierten elektronischen Schaltkreise immer mehr Transistoren integrieren, steigt ihre Größe regelmäßig. Des Weiteren ermöglicht die Nutzung von größeren Siliziumplatten die Senkung der Herstellungskosten.

Die Forschungen werden vom Laboratorium für Elektronik und Informationstechnologien der CEA (CEA Léti) innerhalb der Nanotech 300 Plattform in Grenoble durchgeführt. Diese Plattform besteht aus 1000 m² Grundfläche von Sauberkeitsräumen und zahlreichen Herstellungs- und Charakterisierungsanlagen für Komponenten, die aus 300 mm Siliziumplatten produziert wurden.

Die Finanzierung des Nanotech 300 Projekts (300 Millionen Euros) ist mit Hilfe des französischen Staates, der Unternehmen der Allianz ’Crolles 2’ und anderer Gemeinden (Region Rhône-Alpes, Departement Isère, Stadt Grenoble) verwirklicht worden. Nanotech 300 erscheint wie einer der wichtigsten Komponenten des Minatec Projekts, das darauf abzielt, aus dem Einzugsgebiet von Grenoble ein europäisches hervorragendes Zentrum im Bereich Mikro- und Nanotechnologie zu machen.

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Laurent Marceron Wissenschaft-Frankreich

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