Robuster Drucksensorchip
Ein elektrisches Schild schirmt die piezoresistiven Widerstände von äußeren elektrischen Feldern und Ladungen ab und erhöhe damit die elektrische Stabilität. Durch den Einsatz eines speziellen Ätzverfahrens konnte die beim anisotropen Herstellungsverfahren der Membranen übliche Berstfestigkeit um den Faktor 5 erhöht werden, heißt es.
Die Star-E-Technik mit weiterentwickeltem Design und neuen Materialien verbessere die Langzeitstabilität. Die Sensorchips sind entsprechend den Anwendungsanforderungen mit und ohne Glasrückplatte mit einer Dicke von 0,5 bis 2 mm erhältlich.
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