Neues Spektrometer aus Berlin

Die LTB Lasertechnik Berlin GmbH hat mit ELIAS III ein neues Modell ihrer Reihe höchstauflösender Spektrometer entwickelt. Damit wird eine Linienbreite von 20 Femtometern bei einer Wellenlänge von 193 Nanometern gemessen. Das entspricht einer spektralen Auflösung von 10 Millionen. Bisher lag der eigene Rekord bei 60 Femtometern.

Ein Femtometer ist der billiardste, ein Nanometer der milliardste Teil eines Meters. ELIAS-Spektrometer werden vor allem als Messinstrument in der Mikrolithographie eingesetzt. Sie bestimmen indirekt die Qualität der mit Hilfe optischer Laserlithographie produzierten Halbleiterschaltkreise.

Eine verbesserte spektrale Bandbreite des Lasers verringert deren Strukturgrößen. Mit Hilfe der ELIAS-Spektrometer ist es den Herstellern von Lithographielasern gelungen, ihre Lichtquellen dahingehend weiterzuentwickeln, dass heute Strukturbreiten von 90 Nanometern erreicht werden können.

ELIAS-Spektrometer werden auch in der Atomabsorptionsspektroskopie und der Laserdiodenentwicklung angewendet. Die LTB Lasertechnik Berlin GmbH ist führender Entwickler und Anbieter von Kurzpulslasern, laserbasierten Messsystemen und Messinstrumenten für Laser. ELIAS ist das einzige kommerziell erhältliche Spektrometer mit einer solch extrem hohen Auflösung.