Mikrosensoren für Bioanalytik

Im CiS wurden Mikrosensoren zur Impedanzmessung an kleinsten Flüssigkeitsproben entwickelt. Mittels Immobilisierung spezifischer sensitiver Schichten auf dem Sensor ist die Detektion biologischer Substanzen wie Mikroorganismen, Antikörper u.a. möglich. Die Sensoroberfläche aus Silziumnitrid gewährleistet chemisch inertes Verhalten und damit hohe Stabilität.

Die Silizium-basierten monolytischen Streufeld-Mikrosensoren sind nur wenige mm2 groß (s. Abb.). Damit sind sie besonders geeignet für Mikroanalysesysteme bzw. Mikroreaktoren. Für komplexe Detektionsaufgaben ist eine Gruppierung zu Sensorarrays möglich.
Weitere Anwendungsbereiche des verwendeten impedimetrischen Messprinzips sind Chemosensoren sowie Messaufgaben in der Klimatechnik, Lebensmitteltechnologie u.a.

Das CiS verfügt über Design- und Technologietools zur kundenspezifischen Entwicklung der Sensoren. Zur kostengünstigen Fertigung stehen als technologische Plattform eine komplette 4″-Waferlinie für die Chipfertigung und die entsprechenden Prozessschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik auf ca. 1000 m² Reinraumfläche zur Verfügung. Moderne Messplätze und das Qualitätsmanagement nach ISO 9001:2000 sichern gegenüber dem Kunden die Einhaltung der vereinbarten Parameter und Qualitätsnormen.

Ausführliche Informationen:
BioTechnica 2003 vom 7.-9.Oktober 2003, Hannover, Halle 3/F46
Kontakt: Herr A.Steinke asteinke@cismst.de