Mit neuer Technologie weltweit Marktanteile steigern

• Erstmals vorgestellter Hochfrequenz-Prober bringt der Kommunikationselektronik nahezu 100prozentige Sicherheit in der Produktion
• Neuartiger Laser-Dioden-Prober drosselt Kosten bei der Produktion opto-elektronischer Bauelemente
• SÜSS MicroTec-Töchter präsentieren sich mit einheitlichem Namen

SÜSS MicroTec will seine Position als einer der weltweit führenden Hersteller von Fertigungs- und Prüfgeräten für die Mikroelektronik entscheidend ausbauen. Das Unternehmen stellt auf der internationalen Fachmesse für Elektronikfertigung, Productronica (6. bis 9. November 2001 in München), neue, einzigartige Test- und Prüfsysteme (Prober) für den Einsatz in der Produktion drahtloser Kommunikationselektronik und opto-elek-tronischer _auelemente vor. Die mit Partnern entwickelten Produkte sichern SÜSS MicroTec den technologischen Vorsprung in wichtigen Wachstumsmärkten.

Kommunikationselektronik: Ein unter der Bezeichnung „Z Prober“ patentierter Hochfrequenz-Prüfkopf, den SÜSS MicroTec gemeinsam mit der Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH & Co. entwickelte, bietet gegenüber den bislang in der Halbleiterindustrie eingesetzten Probern entscheidende technologische Verbesserungen – mit entsprechenden ökonomischen Vorteilen: Die besonders schonende und sichere Kontaktierung des Z Probers mit dem zu prüfenden Bauteil reduziert die Ausschuss-Quote auf nahezu Null und mindert den Verschleiß des Probers beträchtlich.

Zur Technik: Die SÜSS MicroTec-Prüfsonde bearbeitet in einem einzigen Arbeitsgang die gesamte Silizium-Scheibe (on-wafer) und zeichnet sich durch eine völlig neuartige Präzision und Messgenauigkeit aus. Das sind bisher die kritischen Faktoren in der Produktion von Schaltkreisen für die Drahtlos-Kommunikation aber auch anderer anspruchsvoller elektronischer Bauelemente wie Transistoren, Dioden oder Filter. Der SÜSS MicroTec-Prüfkopf läst sich zudem universell auch auf den Prüfvorrichtungen anderer Hersteller anwenden.

Opto-Elektronik: Für die Opto-Elektronik-Industrie präsentiert SÜSS in Zusammenarbeit mit Labsphere Inc. ein revolutionäres Prüfsystem für die Qualitätskontrolle von VCSELs (Vertical Cavity Surface Emitting Lasers). Die rasant steigende Nachfrage nach Telekommunikations-Systemen führt zu einem starken Wachstum des VCSEL-Marktes – mit besonderen Anforderungen an die Flexibilität des Chip-Designs. Das SÜSS MicroTec-Prüfverfahren setzt bereits auf einer frühen Stufe der Halbleiterproduktion ein und gewährleistet dadurch diese Flexibilität. Denn nach erfolgter Qualitätskontrolle lässt sich das endgültige Chip-Design noch offen halten. Im Ergebnis sparen die Hersteller in beträchtlichem Umfang Kosten und verkürzen ihr Time-to-Market erheblich.

Zur Technik: Kernstück des automatischen Laser-Dioden-Probers bildet das SÜSS MicroTec-System „PA 200“. Weitere Module des Systems sind durch SÜSS MicroTec und Labsphere patentierte Soft- und Hardwarekomponenten. Der kugelförmige Prüfkopf der SÜSS MicroTec-Lösung kommt – wie der Z Prober – bereits auf der noch kompletten Siliziumscheibe (at wafer level) als Frühtestverfahren zum Einsatz und erfüllt damit exakt die Anforderungen des Marktes. Der Laser-Dioden-Prober ist eine ausbaufähige und flexibel einsetzbare Lösung.

Einheitliche Ausrichtung der Gruppe: Auf der Productronica präsentiert sich die Unternehmensgruppe erstmals einheitlich unter dem Dachnamen SÜSS MicroTec. Die noch unter dem Namen des Firmengründers Karl Süss geführten Tochtergesellschaften im In- und Ausland operieren künftig unter dem Namen SÜSS MicroTec. Die nunmehr auch namentlich einheitliche Ausrichtung der Firmengruppe spiegelt die international wachsende Bedeutung von SÜSS MicroTec im dynamischen Halbleitermarkt wider – und erleichtert die weitere globale Positionierung.

SÜSS MicroTec stellt die neuen Prober-Systeme auf der Productronica vor: Halle A1, Stand 439.