Mikrostrukturierung von korrosionsbeständigen Funktionsschichten
Sie weisen eine ausgeprägte chemische Korrosionsbeständigkeit durch Oberflächenpassivierung auf, was ihre nasschemische Strukturierbarkeit und damit ihren Einsatz in der Mikrosystemtechnik erschwert. Zur Mikrostrukturierung von Pd-haltigen Funktionsschichten wurde ein Verfahren entwickelt, das mehrere Einzelschritte umfasst, die separat einsetzbar und dem Aufbau der Funktionsschicht individuell anpassbar sind. Gegenüber konkurrierenden Verfahren, wie etwa der Laserstrukturierung, ermöglicht das Verfahren eine parallele Bearbeitung einer Vielzahl von Mikrostrukturen, wodurch sich der Aufwand deutlich reduziert.
Formgedächtnislegierungen werden zur Herstellung mikromechanischer Komponenten, wie zum Beispiel Schalter, eingesetzt.
Dr. Andreas Weddigen
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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