Bow-Eliminierung bei dünnen Solarzellen durch kurzzeitiges Tiefkühlen

Durch einen einfachen Tiefkühlschritt wird bei dünnen Siliziumwafern nach der Verstringung die Verbiegung der Wafer (Bow-Bildung!) aktiv rückgängig gemacht. Dadurch können auch größere Wafer mit einer Dicke unter 200 µm hergestellt werden, was ein hohes Einsparpotentiel im Hinblick auf den teuren Rohstoff hochreines Silizium darstellt.

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Technologie-Lizenz-Büro (TLB) der Baden-Württembergischen Hochschulen GmbH
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Professor Dr. Arno Basedow

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