Elektrochemisches Verfahren zur Abscheidung von nanoskaligen Metallen, Halbmetallen und Verbindungen dieser Metalle und/oder Hal

Metall- und Halbmetall-Partikel mit Größen im Nanometerbereich werden u.a. für die Herstellung medizinischer Instrumente, mikro- und nanoelektronischer Bauteile sowie von Katalysatoren verwendet.<br><br>

Bisherige Verfahren zur Herstellung solcher Partikel lassen sich nur diskontinuierlich betreiben. Außerdem werden die Partikel bisher auf Substraten abgeschieden bzw. sind fest mit diesen Substraten verbunden. Das erfindungsgemäße Verfahren lässt sich dagegen auch kontinuierlich betreiben und liefert freie Partikel aus Metallen oder Halbmetallen, wobei die Partikeldurchmesser im Bereich von einigen Mikrometern bis hin zu Nanometern einstellbar sind.<br><br> Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird eine Vorläufersubstanz in einer ionischen Flüssigkeit gelöst und in einer Plasmaphase entweder durch freie Elektronen reduziert, oder die Vorläufersubstanz reagiert mit Teilchen aus der Plasmaphase. Vorläufersubstanzen sind dabei Salze des Metalls oder Halbmetalls, aus dem Partikel mit Durchmessern im Nanometerbereich hergestellt werden sollen.

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Dr. Peter Stumpf