Vorrichtung zur Überwachung von Ätzvorgängen
An der Universität des Saarlandes im Fachbereich Mikromechanik wurde eine neuar-tige Vorrichtung zur Überwachung von nasschemischen Ätzvorgängen entwickelt. Dabei kann das gewünschte Endpunkt des Ätzvorgangs (Ätzstopp) durch kontinuierliche Messung während des nasschemischen Strukturierungsvorgangs bestimmt werden.
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