Feldeffekttransistor-Sensor
Die Erfindung betrifft einen Sensor, insbesondere für die Verwendung in der Rastersondenmikroskopie, zur Untersuchung von Probenoberflächen i. V. m. einem Feldeffekttransistor. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf einen hochauflösenden Hallsensor zum Detektieren von magnetischen Feldern.
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