Simultanes Ätzen unterschiedlich dotierter Bereiche bei der Produktion von Solarzellen

Die selektive Rückätzung unterschiedlich polarisiert dotierter Teilbereiche, mit ggf. zusätzlich verschieden hoher Dotierungskonzentration, erfolgt bei der Herstellung von Solarzellen standardmäßig in mehreren getrennten Maskierungs- und Ätzschritten.
Ein neues Verfahren könnte es nun ermöglichen, die Rückätzung aller Dotierungsbereiche in einem einzigen ggf. maskierten Ätzschritt simultan durchzuführen. Das Verfahren ist bei verschiedensten Solarzellenkonzepten anwendbar und verringert den Zeit-, Material- und Prozessaufwand.

Weitere Informationen: PDF

Technologie-Lizenz-Büro (TLB) der Baden-Württembergischen Hochschulen GmbH
Tel.: +49 (0)721/79 00 40

Ansprechpartner
Dipl.-Biol. Marcus Lehnen, MBA

Der TechnologieAllianz e.V. als Verband deutscher Technologie- und Patentverwertungs-Agenturen erschließt Unternehmen das gesamte Spektrum innovativer Forschungsergebnisse nahezu aller deutschen Hochschulen und diverser außeruniversitärer Forschungsstätten. Über 2.000 verschiedene, in der Regel bereits patentierte Technologie-Angebote aus 14 Branchen stehen Unternehmen zur Verfügung, um ihnen einen Zeitvorsprung am Markt zu sichern. Unter www.technologieallianz.de bieten die Mitglieder der TechnologieAllianz einen kostenlosen, schnellen und unbürokratischen Zugang zu allen weiteren Angeboten der deutschen Forschungslandschaft ebenso wie gezielte Unterstützung zur erfolgreichen Vermittlung der Technologien.