Verfahren zum Ermitteln von Brechungsindex und Schichtdicke einer transparenten Schicht mittels Ellipsometrie
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der charakteristischen Kenngrößen von ultra-dünnen Oberflächen und oberflächennahen Schichten.
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PVA Mecklenburg-Vorpommern AG
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Christian Tholen
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