Verfahren zur Verbesserung der Eigenschaften gesputterter Metalloxidschichten
Metalloxidschichten für zum Beispiel Halbleitersensoren oder Solarzellen (z. B. Tandem-Solarzellen auf Basis von Cu2O) werden üblicherweise durch Kathodenzerstäubung (HF oder RF-Sputtering) hergestellt.
Das neuartige Verfahren umfasst im wesentlichen die Zudosie-rung von Wasserstoffgas in geeigneter Weise während des eigentlichen Sputterprozesses. Es werden dadurch deutliche Verbesserungen der elektrischen Eigenschaften, z.B. der Ladungsträgerkonzentration und der Ladungsträger-Beweglichkeit sowie des Schichtwiderstandes erreicht.
Weitere Informationen: PDF
TransMIT Gesellschaft für Technologietransfer mbH
Tel.: +49 (0)641/943 64-12
Ansprechpartner
Dr. Peter Stumpf
Der TechnologieAllianz e.V. als Verband deutscher Technologie- und Patentverwertungs-Agenturen erschließt Unternehmen das gesamte Spektrum innovativer Forschungsergebnisse nahezu aller deutschen Hochschulen und diverser außeruniversitärer Forschungsstätten. Über 2.000 verschiedene, in der Regel bereits patentierte Technologie-Angebote aus 14 Branchen stehen Unternehmen zur Verfügung, um ihnen einen Zeitvorsprung am Markt zu sichern. Unter www.technologieallianz.de bieten die Mitglieder der TechnologieAllianz einen kostenlosen, schnellen und unbürokratischen Zugang zu allen weiteren Angeboten der deutschen Forschungslandschaft ebenso wie gezielte Unterstützung zur erfolgreichen Vermittlung der Technologien.
Media Contact
Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote
Neueste Beiträge
Sensoren für „Ladezustand“ biologischer Zellen
Ein Team um den Pflanzenbiotechnologen Prof. Dr. Markus Schwarzländer von der Universität Münster und den Biochemiker Prof. Dr. Bruce Morgan von der Universität des Saarlandes hat Biosensoren entwickelt, mit denen…
Organoide, Innovation und Hoffnung
Transformation der Therapie von Bauchspeicheldrüsenkrebs. Bauchspeicheldrüsenkrebs (Pankreaskarzinom) bleibt eine der schwierigsten Krebsarten, die es zu behandeln gilt, was weltweite Bemühungen zur Erforschung neuer therapeutischer Ansätze anspornt. Eine solche bahnbrechende Initiative…
Leuchtende Zellkerne geben Schlüsselgene preis
Bonner Forscher zeigen, wie Gene, die für Krankheiten relevant sind, leichter identifiziert werden können. Die Identifizierung von Genen, die an der Entstehung von Krankheiten beteiligt sind, ist eine der großen…